@inproceedings{TUW-105056, author = {Wimmer, Karl and Bauer, Robert and Halama, Stefan and Hobler, Gerhard and Selberherr, Siegfried}, title = {{S}imulation nichtplanarer {H}erstellungsprozesse mit {P}{R}{O}{M}{I}{S}}, booktitle = {{T}agungsbericht {S}eminar {G}rundlagen und {T}echnologie elektronischer {B}auelemente}, year = {1991}, pages = {10--19}, url = {http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1991/CP1991_Wimmer_1.pdf}, note = {talk: {S}eminar {G}rundlagen und {T}echnologie elektronischer {B}auelemente, {G}ro{\ss}arl; 1991-03-20 -- 1991-03-23} }