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@inproceedings{TUW-106138,
    author = {Bohmayr, Walter and Selberherr, Siegfried},
    title = {{E}ffiziente {M}ethoden f{\"u}r die {M}onte {C}arlo {S}imulation der {I}onenimplantation in multidimensionale kristalline {H}albleiterstrukturen},
    booktitle = {{T}agungsbericht {S}eminar {G}rundlagen und {T}echnologie elektronischer {B}auelemente},
    year = {1995},
    pages = {63--66},
    url = {http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1995/CP1995_Bohmayr_3.pdf},
    isbn = {3-901578-01-3},
    note = {talk: {S}eminar {G}rundlagen und {T}echnologie elektronischer {B}auelemente, {G}rossarl; 1995-04-05 -- 1995-04-08}
}