@inproceedings{TUW-106138, author = {Bohmayr, Walter and Selberherr, Siegfried}, title = {{E}ffiziente {M}ethoden f{\"u}r die {M}onte {C}arlo {S}imulation der {I}onenimplantation in multidimensionale kristalline {H}albleiterstrukturen}, booktitle = {{T}agungsbericht {S}eminar {G}rundlagen und {T}echnologie elektronischer {B}auelemente}, year = {1995}, pages = {63--66}, url = {http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1995/CP1995_Bohmayr_3.pdf}, isbn = {3-901578-01-3}, note = {talk: {S}eminar {G}rundlagen und {T}echnologie elektronischer {B}auelemente, {G}rossarl; 1995-04-05 -- 1995-04-08} }