Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):
C. Heitzinger, J. Fugger, O. Häberlen, S. Selberherr:
"Simulation and Inverse Modeling of TEOS Deposition Processes Using a Fast Level Set Method";
Poster: International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD),
Kobe, Japan;
04.09.2002
- 06.09.2002; in: "Proceedings of the International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD)",
(2002),
ISBN: 4-89114-027-5;
S. 191
- 194.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/SISPAD.2002.1034549
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2003/CP2002_Heitzinger_3.pdf