R. Minixhofer:
"Integration Technology Simulation into the Semiconductor Manufacturing Environment";
Betreuer/in(nen), Begutachter/in(nen): S. Selberherr, W. Pribyl; Institut für Mikroelektronik, 2006; Rigorosum: 31.03.2006.
http://dx.doi.org/10.34726/hss.2006.5439Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/phd/minixhofer