Vorträge und Posterpräsentationen (ohne Tagungsband-Eintrag):
U. Schmid:
"Robuste Mikrosysteme für automobile und luftfahrtbezogene Anwendungen";
Vortrag: Physikkolloquium, Institut für Physik, Johannes-Kepler-Universität Linz,
Johannes Kepler Universität Linz (eingeladen);
12.03.2009.
Kurzfassung deutsch:
Ein Schwerpunkt des Vortrages umfasst die Entwicklung einer neuartigen Einspritzmengensensorik für automobile Anwendungen. Das robuste Sensorelement, umgesetzt auf Basis der LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) Technologie, ist komplett in eine Common-Rail Einspritzdüse integriert. Die keramische Mehrlagentechnik ist ferner von hohem Interesse bei der Umsetzung eines kompakten Radarmoduls bei 79 GHz, das im automobilen Bereich zur Umfeld- und Umgebungssensorik und für luftfahrtbezogene Anwendungen zur Detektion von Wirbelschleppen verwendet werden soll. Neben der Mikro- und Nanoporosizierung der LTCC zur lokalen Modifikation dielektrischer Eigenschaften wird die Umsetzung eines neuartigen, hochtemperaturfesten RF-MEMS-Schaltelementes vorgestellt. Abschließend werden neuartige Ansätze zur Entwicklung von Drucksensoren für Messaufgaben bis 700°C für luftfahrtbezogene Anwendungen dargelegt. Als Substratmaterialien kommen Saphir und hochtemperaturstabile Nickelbasislegierungen zum Einsatz.