T. Aichinger:
"On the Role of Hydrogen in Silicon Device Degradation and Metalization Processing";
Betreuer/in(nen), Begutachter/in(nen): T. Grasser, H. Hutter; Institut für Mikroelektronik, 2010; Rigorosum: 01.09.2010.
http://dx.doi.org/10.34726/hss.2010.20283Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/phd/aichinger/