Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):
M. Schneider, A. Bittner, U. Schmid, R. Beigelbeck, J. Schalko, M. Stifter:
"Experimentelle Verifikation eines verbesserten Bulge-Test Modells zur elastomechanischen Charakterisierung von runden Aluminiumnitrid- und Siliziumnitridmembranen";
Vortrag: Mikroelektronik Tagung ME12,
Wien;
23.04.2012
- 24.04.2012; in: "ME Tagung 2012",
Schriftenreihe des Öst erreichischen Verbands für Elektrotechnik,
(2012),
S. 56
- 60.
Kurzfassung deutsch:
Die Load-deflection (LD) Methode ist ein häufig
genutztes Verfahren, um sowohl das E-Modul als auch
intrinsische, mechanische Spannungen von
Dünnfilmmembranen aus der Messung der maximalen
Auslenkung unter gleichförmig aufgebrachter
Druckbelastung zu bestimmen. Beide Größen können
dabei durch An.fitten eines theoretischen Modells an die
Messung extrahiert werden. Die verwendeten
Voraussetzungen und Randbedingungen müssen bei der
Erstellung des theoretischen Modells jedoch sorgfältig
gewählt werden, um die Messungen korrekt auszuwerten.
Wir verwenden ein neuartiges LD-Verfahren, bei der
alle wesentlichen elastomechanischen Effekte
berücksichtigt werden. Dieser Ansatz erlaubt somit eine
hochgenaue Bestimmung des E-Moduls und der
intrinsischen Spannungen von runden
Dünnfilmmembranen. Dieser LD-Zusammenhang basiert
auf einer Adaption von Timoshenkos Theorie dünner
Membranen, wobei die Auslenkung in und außerhalb der
Ebene durch eine Reihenentwicklung bzw. ein Polynom
angenähert werden. Mit Hilfe des Prinzips der
Minimierung der potentiellen Energie konnte die Formel
in eine kompakte Form gebracht wurden. Experimentell
überprüft wurde sie bei der Bestimmung von E-Modul
und intrinsischer Schichtspannung gesputterter AZN- und
mittels PECVD abgeschiedenen SixNy-Schichten.
Kurzfassung englisch:
Die Load-deflection (LD) Methode ist ein häufig
genutztes Verfahren, um sowohl das E-Modul als auch
intrinsische, mechanische Spannungen von
Dünnfilmmembranen aus der Messung der maximalen
Auslenkung unter gleichförmig aufgebrachter
Druckbelastung zu bestimmen. Beide Größen können
dabei durch An.fitten eines theoretischen Modells an die
Messung extrahiert werden. Die verwendeten
Voraussetzungen und Randbedingungen müssen bei der
Erstellung des theoretischen Modells jedoch sorgfältig
gewählt werden, um die Messungen korrekt auszuwerten.
Wir verwenden ein neuartiges LD-Verfahren, bei der
alle wesentlichen elastomechanischen Effekte
berücksichtigt werden. Dieser Ansatz erlaubt somit eine
hochgenaue Bestimmung des E-Moduls und der
intrinsischen Spannungen von runden
Dünnfilmmembranen. Dieser LD-Zusammenhang basiert
auf einer Adaption von Timoshenkos Theorie dünner
Membranen, wobei die Auslenkung in und außerhalb der
Ebene durch eine Reihenentwicklung bzw. ein Polynom
angenähert werden. Mit Hilfe des Prinzips der
Minimierung der potentiellen Energie konnte die Formel
in eine kompakte Form gebracht wurden. Experimentell
überprüft wurde sie bei der Bestimmung von E-Modul
und intrinsischer Schichtspannung gesputterter AZN- und
mittels PECVD abgeschiedenen SixNy-Schichten.