Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):
Ch. Kirsch, D. Feili, U. Schmid, A. Balck, M. Leester-Schaedel, S. Büttgenbach, H. Seidel:
"Untersuchung des Bucklingeffektes an mittels gesputtertem Wolfram vorgespannten Siliziummembranen für Mikroaktorikanwendungen";
Poster: Mikrosystemtechnik Kongress 2013,
Aachen, D;
14.10.2013
- 16.10.2013; in: "Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013",
VDE VERLAG GMBH, Berlin und Offenbach, Bismarckstraße 33, 10625 Berlin,
(2013),
ISBN: 978-3-8007-3555-6;
S. 492
- 495.
Kurzfassung deutsch:
Gesputterte Dünnfilme haben im Allgemeinen die Eigenschaft, mechanische Spannungen auf das darunterliegende Substrat zu übertragen. Der speziell bei Wolfram auftretende sehr hohe intrinsi-sche Schichtstress wird in dieser Arbeit in Form von Druckspannungen zur Erzeugung von vorge-spannten Membranen genutzt, die vorteilhaft in späteren Mikroaktorikanwendungen eingesetzt werden können. Zum besseren Verständnis des dabei auftretenden sog. Buckling-Effektes wird ein theoretisches Näherungsmodell hergeleitet, welches anhand der geometrischen Dimensionen der Membran sowie der Dicke des Dünnfilms Aussagen über das Auslenkverhalten der Membran er-laubt. Dieses auf Energiebetrachtungen basierende Modell liefert für gegebene Geometrien einen wichtigen Parameter, die kritische Drucklast , deren Überschreitung erst den Buckling-Effekt ermöglicht. Der zum Umschalten zwischen den beiden Buckling-Zuständen erforderliche pneumati-sche Druck auf die Membranoberfläche wird ebenfalls anhand des theoretischen Modells hergeleitet und berechnet. Abschließend wird das Modell durch experimentelle Ergebnisse überprüft und bestä-tigt.