S. Schmid:
"Electrostatically Actuated All-Polymer Microbeam Resonators - Characterization and Application";
Der andere Verlag, Zürich, Schweiz, 2009, ISBN: 978-3-89959-921-3; 246 S.
http://dx.doi.org/10.3929/ethz-a-005910629Elektronische Version der Publikation:
http://e-collection.library.ethz.ch/eserv/eth:340/eth-340-02.pdf