Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):
D. Platz, A. Gesing, U. Schmid:
"Modellierung der Fluiddämpfung unkonventioneller Schwingungsmoden in MEMS-Resonatoren - Modelling fluid damping of non-conventional vibrational modes in MEMS resonators";
Vortrag: MikroSystemTechnik Kongress 2019,
Berlin, D;
28.10.2019
- 30.10.2019; in: "MikroSystemTechnik Kongress 2019 - Proceedings",
VDE Verlag GMBH,
(2019),
ISBN: 978-3-8007-5090-0;
S. 278
- 281.
Kurzfassung deutsch:
Wir stellen eine Methode zur numerischen Berechnung der Resonanzfrequenz und des Gütefaktors von nichtkonventionellen
Vibrationsmoden von MEMS-Resonatoren in Fluiden vor. Nicht-konventionelle Vibrationsmoden treten
bei MEMS-Resonatoren auf, deren elastisches Verhalten durch die Kirchhoff-Love-Gleichung modelliert wird. Wir nutzen
eine diskontinuierliche Galerkin-Methode zur numerischen Lösung der Kirchhoff-Love-Gleichung und beschreiben
die Fluiddynamik mittels eines Randintegralansatzes. Mit diesen Methoden simulieren wir die Fluid-Struktur-Interaktion
von nicht-konventionellen Vibrationsmoden von MEMS-Resonatoren in Fluiden und nutzen diesen Ansatz für quantitative
Vorhersagen von Resonanzfrequenzen und Gütefaktoren.
Kurzfassung englisch:
We present a method for numerically simulating resonance frequencies and quality factors of non-conventional vibrational
eigenmodes of MEMS resonators in fluids. Non-conventional eigenmodes can be found in MEMS resonators which are
modeled by the Kirchhoff Love equation.We use a discontinuous Galerkin method for numerically solving the Kirchhoff
Love equation and describe the fluid dynamics with a boundary integral ansatz.With these methods we simulate the fluid
structure interaction of non-conventional vibrational eigenmodes of MEMS resonators in fluids and use this approach for
quantitative predictions of resonance frequencies and quality factors.