@phdthesis{TUW-111640, author = {Pichler, P.}, title = {{N}umerische {S}imulation kritischer {P}roze{\ss}schritte in der {H}albleitertechnik}, school = {{I}nstitut f{\"u}r {A}llgemeine {E}lektrotechnik und {E}lektronik}, year = {1985} }