@phdthesis{TUW-111643, author = {Lorenz, J.}, title = {{D}iskretisierung und {G}ittergeneration f{\"u}r die mehrdimensionale {S}imulation von {I}mplantation und {D}iffusion}, school = {{F}riedrich-{A}lexander-{U}niversit{\"a}t {E}rlangen-{N}{\"u}rnberg und {I}nstitut f{\"u}r {M}ikroelektronik}, year = {2000} }