Zeitschriftenartikel:
M. Gazicki, H. Szimanowski, J. Tyczkowski, J. Schalko, F. Olcaytug:
"Correlation between gas phase composition of RF plasma of argon diluted tetraethylgermanium and chemical structure of ..";
Journal of Vacuum Science & Technology A,
A14
(1996),
(5);
S. 2835
- 2841.
Kurzfassung englisch:
Correlation between gas phase composition of RF plasma of argon diluted tetraethylgermanium and chemical structure of therewith deposited Ge/C film
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.