[Zurück]


Zeitschriftenartikel:

M. Gazicki, H. Szimanowski, J. Tyczkowski, J. Schalko, F. Olcaytug:
"Correlation between gas phase composition of RF plasma of argon diluted tetraethylgermanium and chemical structure of ..";
Journal of Vacuum Science & Technology A, A14 (1996), (5); S. 2835 - 2841.



Kurzfassung englisch:
Correlation between gas phase composition of RF plasma of argon diluted tetraethylgermanium and chemical structure of therewith deposited Ge/C film

Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.