Zeitschriftenartikel:
C. Pichler, R. Plasun, R. Strasser, S. Selberherr:
"Simulation of Complete VLSI Fabrication Processes with Heterogeneous Simulation Tools";
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing,
12
(1999),
1;
S. 76
- 86.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/66.744527
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1999/JB1999_Pichler_1.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.