Publikationseintrag

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Zeitschriftenartikel:

H. Kirchauer, S. Selberherr:
"Three-Dimensional Photolithography Simulation";
IEEE Journal of Technology Computer Aided Design, 1 (1997), 6; S. 1 - 37.

"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)

http://dx.doi.org/10.1109/TCAD.1996.6449163

Elektronische Version der Publikation:

http://www.iue.tuwien.ac.at/htmlpapers/kirchauer-jun97/

Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.