Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):
W. Pyka, R. Martins, S. Selberherr:
"Efficient Algorithms for Three-Dimensional Etching and Deposition Simulation";
Vortrag: International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD),
Leuven, Belgium;
02.09.1998
- 04.09.1998; in: "Proceedings of the International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD)",
(1998),
ISBN: 3-211-83208-4;
S. 16
- 19.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1007/978-3-7091-6827-1_5
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1999/CP1998_Pyka_1.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.