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Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):

F. Kohl, F. Keplinger, R. Fasching, P. Svasek, J. Steurer, A. Jachimowicz:
"Entwicklung von und Untersuchungen an Mikrosystemkomponenten";
Vortrag: GMe Forum 2001, Wien; 05.04.2001 - 06.04.2001; in: "Proceedings GMe Forum", (2001), 3-901578-07-02; S. 55 - 59.



Kurzfassung deutsch:
Die Erzeugung komplexer dreidimensionaler Mikrostrukturen auf einem Chip mittels planarer Beschichtungs- und Photolithographieprozesse und photovernetzbarer Epoxide wird vorgestellt. Thermische Strömungssensoren auf der Basis von Thermistoren aus amorphem Germanium, die auch in Mikrosysteme integrierbar sind, wurden über einen extrem weiten Meßbereich und unter extremen dynamischen Betriebsbedingungen charakterisiert. Aus der Antwort des Sensors auf akustische Schockwellen konnte unter Freifeldbedingungen eine Kleinsignal-Ansprechzeit von weniger als 1 ms nachgewiesen werden. Bei Strömungsquerschnitten unter 1 mm2 bietet der Sensor einen Gasflussmessbereich von mehr als fünf Größenordnungen. Grundlage der hohen Auflösung ist das geringe Stromrauschen der Thermistoren.

Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universitšt Wien.