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Zeitschriftenartikel:

G. Hobler, S. Selberherr:
"Monte Carlo Simulation of Ion Implantation into Two- and Three-Dimensional Structures";
IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems, 8 (1989), 5; S. 450 - 459.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/43.24873

Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1989/JB1989_Hobler_1.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universitšt Wien.