Zeitschriftenartikel:
G. Hobler, S. Selberherr:
"Monte Carlo Simulation of Ion Implantation into Two- and Three-Dimensional Structures";
IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems,
8
(1989),
5;
S. 450
- 459.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/43.24873
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1989/JB1989_Hobler_1.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.