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Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):

E. Strasser, S. Selberherr:
"A General Simulation Method for Etching and Deposition Processes";
Vortrag: International Conference on the Simulation of Semiconductor Devices and Processes (SISDEP), Wien; 07.09.1993 - 09.09.1993; in: "Proceedings SISDEP 93 Conference", (1993), ISBN: 3-211-82504-5; S. 357 - 360.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1007/978-3-7091-6657-4_88

Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1994/CP1993_Strasser_1.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.