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Zeitschriftenartikel:

W. Bohmayr, A. Burenkov, J. Lorenz, H. Ryssel, S. Selberherr:
"Trajectory Split Method for Monte Carlo Simulation of Ion Implantation";
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 8 (1995), 4; S. 402 - 407.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/66.475181

Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1995/JB1995_Bohmayr_1.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.