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Zeitschriftenartikel:

A. Sheikholeslami, C. Heitzinger, H. Puchner, F. Badrieh, S. Selberherr:
"Simulation of Void Formation in Interconnect Lines";
Proceedings of SPIE, 5117 (2003), S. 445 - 452.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1117/12.498783

Online-Bibliotheks-Katalog der TU Wien:
http://aleph.ub.tuwien.ac.at/F?base=tuw01&func=find-c&ccl_term=AC04403642

Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2003/CP2003_Sheikoleslami_1.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universitšt Wien.