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Zeitschriftenartikel:

G. Hobler, E. Langer, S. Selberherr:
"Two-Dimensional Modeling of Ion Implantation with Spatial Moments";
Solid-State Electronics, 30 (1987), 4; S. 445 - 455.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1016/0038-1101(87)90175-4

Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1987/JB1987_Hobler_1.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universitšt Wien.