Zeitschriftenartikel:
P. Pichler, W. Jüngling, S. Selberherr, E. Guerrero, H. Pötzl:
"Simulation of Critical IC-Fabrication Steps";
IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems,
4
(1985),
4;
S. 384
- 397.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/TCAD.1985.1270136
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1985/JB1985_Pichler_2.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.