Zeitschriftenartikel:
P. Pichler, W. Jüngling, S. Selberherr, E. Guerrero, H. Pötzl:
"Simulation of Critical IC-Fabrication Steps";
IEEE Transactions on Electron Devices,
32
(1985),
10;
S. 1940
- 1953.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/T-ED.1985.22226
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1986/JB1985_Pichler_2.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.