Zeitschriftenartikel:
W. Jüngling, P. Pichler, S. Selberherr, E. Guerrero, H. Pötzl:
"Simulation of Critical IC Fabrication Processes Using Advanced Physical and Numerical Methods";
IEEE Transactions on Electron Devices,
32
(1985),
2;
S. 156
- 167.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/T-ED.1985.21925
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_1985/JB1985_Juengling_2.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.