Zeitschriftenartikel:
W. Jüngling, P. Pichler, S. Selberherr, E. Guerrero, H. Pötzl:
"Simulation of Critical IC Fabrication Processes Using Advanced Physical and Numerical Methods";
IEEE Journal of Solid-State Circuits,
20
(1985),
1;
S. 76
- 87.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/JSSC.1985.1052279
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/JB1985_Juengling_1.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.