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Zeitschriftenartikel:

S. Selberherr, E. Guerrero:
"Simple and Accurate Representation of Implantation Parameters by Low Order Polynomals";
Solid-State Electronics, 24 (1981), 6; S. 591 - 593.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1016/0038-1101(81)90081-2

Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/JB1981_Selberherr_1.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.