Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):
A. Sheikholeslami, C. Heitzinger, T. Grasser, S. Selberherr:
"Three-Dimensional Topography Simulation for Deposition and Etching Processes Using a Level Set Method";
Vortrag: International Conference on Microelectronics (MIEL),
Nis;
16.05.2004
- 19.05.2004; in: "Proceedings of the International Conference on Microelectronics (MIEL)",
(2004),
ISBN: 0-7803-8166-1;
S. 241
- 244.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/ICMEL.2004.1314606
Online-Bibliotheks-Katalog der TU Wien:
http://aleph.ub.tuwien.ac.at/F?base=tuw01&func=find-c&ccl_term=AC04967485
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2004/CP2004_Sheikholeslami_1.pdf
Zugeordnete Projekte:
Projektleitung Siegfried Selberherr:
Development of a Topography Computer-Aid
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.