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Zeitschriftenartikel:

C. Heitzinger, A. Sheikholeslami, F. Badrieh, H. Puchner, S. Selberherr:
"Feature-Scale Process Simulation and Accurate Capacitance Extraction for the Backend of a 100-nm Aluminum/TEOS Process";
IEEE Transactions on Electron Devices, 51 (2004), 7; S. 1129 - 1134.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/TED.2004.829868

Online-Bibliotheks-Katalog der TU Wien:
http://aleph.ub.tuwien.ac.at/F?base=tuw01&func=find-c&ccl_term=AC04967533

Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2005/JB2004_Heitzinger_4.pdf



Zugeordnete Projekte:
Projektleitung Siegfried Selberherr:
SIM


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universitšt Wien.