Zeitschriftenartikel:
J. Cervenka, H. Ceric, S. Selberherr:
"Three-Dimensional Simulation of Sacrificial Etching";
Microsystem Technologies - Micro- and Nanosystems - Information Storage and Processing Systems,
14
(2008),
4-5;
S. 665
- 671.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1007/s00542-007-0491-1
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2008/JB2007_Cervenka_1.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.