Talks and Poster Presentations (without Proceedings-Entry):
G. Hobler:
"Simulation von Topographie- und Materialmodifikation mittels fokussierter Ionenstrahlen";
Talk: Seminar Institut für Allgemeine Physik (IAP),
TU Wien;
2006-06-19.
German abstract:
Fokussierte Ionenstrahlen (focused ion beams - FIB) haben ein wichtiges Anwendungsgebiet in der maskenlosen Strukturierung von Targets gefunden. In den vergangenen Jahren wurden am Institut für Festkörperelektronik Simulationswerkzeuge entwickelt, die auf einem Kontinuum- bzw. Binary-Collision Ansatz beruhen und bei der FIB-Prozessierung auftretende Topographie- und Materialmodifikationen vorhersagen können.
Nach Vorstellung der Simulationsmethoden werden einige Anwendungsbeispiele diskutiert, die die Möglichkeiten der Tools illustrieren: Die Erzeugung von Gräben mittels FIB, die Präparation von TEM-Proben sowie die Erzeugung von Defekten in einem MOSFET.
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