Vorträge und Posterpräsentationen (ohne Tagungsband-Eintrag):
G. Hobler:
"Simulation von Topographie- und Materialmodifikation mittels fokussierter Ionenstrahlen";
Vortrag: Seminar Institut für Allgemeine Physik (IAP),
TU Wien;
19.06.2006.
Kurzfassung deutsch:
Fokussierte Ionenstrahlen (focused ion beams - FIB) haben ein wichtiges Anwendungsgebiet in der maskenlosen Strukturierung von Targets gefunden. In den vergangenen Jahren wurden am Institut für Festkörperelektronik Simulationswerkzeuge entwickelt, die auf einem Kontinuum- bzw. Binary-Collision Ansatz beruhen und bei der FIB-Prozessierung auftretende Topographie- und Materialmodifikationen vorhersagen können.
Nach Vorstellung der Simulationsmethoden werden einige Anwendungsbeispiele diskutiert, die die Möglichkeiten der Tools illustrieren: Die Erzeugung von Gräben mittels FIB, die Präparation von TEM-Proben sowie die Erzeugung von Defekten in einem MOSFET.
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.