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Vorträge und Posterpräsentationen (ohne Tagungsband-Eintrag):

G. Hobler:
"Simulation von Topographie- und Materialmodifikation mittels fokussierter Ionenstrahlen";
Vortrag: Seminar Institut für Allgemeine Physik (IAP), TU Wien; 19.06.2006.



Kurzfassung deutsch:
Fokussierte Ionenstrahlen (focused ion beams - FIB) haben ein wichtiges Anwendungsgebiet in der maskenlosen Strukturierung von Targets gefunden. In den vergangenen Jahren wurden am Institut für Festkörperelektronik Simulationswerkzeuge entwickelt, die auf einem Kontinuum- bzw. Binary-Collision Ansatz beruhen und bei der FIB-Prozessierung auftretende Topographie- und Materialmodifikationen vorhersagen können.
Nach Vorstellung der Simulationsmethoden werden einige Anwendungsbeispiele diskutiert, die die Möglichkeiten der Tools illustrieren: Die Erzeugung von Gräben mittels FIB, die Präparation von TEM-Proben sowie die Erzeugung von Defekten in einem MOSFET.

Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universitšt Wien.