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Zeitschriftenartikel:

F. Puschitz, F. Bleicher:
"Mit Linse und Laser";
Quality Engineering, 7-8 (2008), S. 72 - 73.



Kurzfassung deutsch:
Evaluierung eines optischen Messystems der Firma Nikon im Drittmittelprojekt-Einsatz zur Vermessung mikroskopisch kleiner Geometrien in bis zu 3 Dimensionen

Schlagworte:
Quality, Optical Measurment, Production technology


Elektronische Version der Publikation:
http://publik.tuwien.ac.at/files/PubDat_167681.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.