Zeitschriftenartikel:
F. Puschitz, F. Bleicher:
"Mit Linse und Laser";
Quality Engineering,
7-8
(2008),
S. 72
- 73.
Kurzfassung deutsch:
Evaluierung eines optischen Messystems der Firma Nikon im Drittmittelprojekt-Einsatz zur Vermessung mikroskopisch kleiner Geometrien in bis zu 3 Dimensionen
Schlagworte:
Quality, Optical Measurment, Production technology
Elektronische Version der Publikation:
http://publik.tuwien.ac.at/files/PubDat_167681.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.