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U. Schmid:
"Robuste Mikrosysteme für automobile und luftfahrtbezogene Anwendungen";
Talk: Seminar Institut für Allgemeine Physik (IAP), TU Wien; 01-13-2009.

Ein Schwerpunkt meines Übersichtsvortrages umfasst die Entwicklung einer neuartigen Einspritzmengensensorik für automobile Anwendungen. Das robuste Sensorelement, umgesetzt auf Basis der LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) Technologie, ist komplett in eine Common-Rail Einspritzdüse integriert. Die keramische Mehrlagentechnik ist ferner von hohem Interesse bei der Umsetzung eines kompakten Radarmoduls bei 79 GHz, das im automobilen Bereich zur Umfeld- und Umgebungssensorik und für luftfahrtbezogene Anwendungen zur Detektion von Wirbelschleppen verwendet werden soll. Neben der Mikro- und Nanoporosizierung der LTCC zur lokalen Modifikation dielektrischer Eigenschaften wird die Umsetzung eines neuartigen, hochtemperaturfesten RF-MEMS-Schaltelementes vorgestellt. Abschließend werden neuartige Ansätze zur Entwicklung von Drucksensoren für Messaufgaben bis 700°C für luftfahrtbezogene Anwendungen dargelegt. Als Substratmaterialien kommen Saphir und hochtemperaturstabile Nickelbasislegierungen zum Einsatz.