Zeitschriftenartikel:
O. Ertl, S. Selberherr:
"Three-Dimensional Level Set Based Bosch Process Simulations using Ray Tracing for Flux Calculation";
Microelectronic Engineering,
87
(2010),
1;
S. 20
- 29.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2009.05.011
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2009/JB2009_Ertl_2.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.