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Zeitschriftenartikel:

O. Ertl, S. Selberherr:
"Three-Dimensional Level Set Based Bosch Process Simulations using Ray Tracing for Flux Calculation";
Microelectronic Engineering, 87 (2010), 1; S. 20 - 29.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2009.05.011

Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2009/JB2009_Ertl_2.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.