Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):
O. Ertl, L. Filipovic, S. Selberherr:
"Three-Dimensional Simulation of Focused Ion Beam Processing Using the Level Set Method";
Vortrag: International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD),
Bologna, Italy;
06.09.2010
- 08.09.2010; in: "Proceedings of the International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD)",
(2010),
ISBN: 978-1-4244-7700-5;
S. 49
- 52.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/SISPAD.2010.5604573
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2010/CP2010_Ertl_1.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.