Zeitschriftenartikel:
J. Steininger, S. Kuiper, S. Ito, G. Schitter:
"Schnelle Rasterkraftmikroskopie durch moderne Regelungstechnik und mechatronische Systemintegration";
E&I Elektrotechnik und Informationstechnik,
129
(2012),
1;
S. 28
- 33.
Kurzfassung deutsch:
Fuš r die Rasterkraftmikroskopie (AFM) ist eine schnelle und hochpraš zise Fuš hrung der AFM-Positioniereinheit und Messspitze
ausschlaggebend. Besonders bei hohen Scangeschwindigkeiten fuš hrt die Dynamik der AFM-Positioniereinheit zu Abbildungsartefakten,
wodurch die maximale Messgeschwindigkeit und Bildqualitaš t eingeschraš nkt wird. In diesem Artikel werden moderne Ansaš tze diskutiert,
welche zu einer signifikanten Steigerung der Messgeschwindigkeiten fuš hren.
Kurzfassung englisch:
In atomic force microscopy (AFM) high-performance and high precision control of the scanning-system is crucial. At high imaging speeds
the dynamic behaviour of the scanner may cause imaging artefacts limiting the maximum imaging rate. This contribution discusses
recent improvements for faster imaging by utilizing modern mechatronic and control engineering methods.
Schlagworte:
SPM; AFM; scanning probe; control; nanotechnology; nanometrology
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1007/s00502-012-0070-8
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.