Publications in Scientific Journals:
J. Steininger, S. Kuiper, S. Ito, G. Schitter:
"Schnelle Rasterkraftmikroskopie durch moderne Regelungstechnik und mechatronische Systemintegration";
E&I Elektrotechnik und Informationstechnik,
129
(2012),
1;
28
- 33.
English abstract:
In atomic force microscopy (AFM) high-performance and high precision control of the scanning-system is crucial. At high imaging speeds
the dynamic behaviour of the scanner may cause imaging artefacts limiting the maximum imaging rate. This contribution discusses
recent improvements for faster imaging by utilizing modern mechatronic and control engineering methods.
German abstract:
Fuš r die Rasterkraftmikroskopie (AFM) ist eine schnelle und hochpraš zise Fuš hrung der AFM-Positioniereinheit und Messspitze
ausschlaggebend. Besonders bei hohen Scangeschwindigkeiten fuš hrt die Dynamik der AFM-Positioniereinheit zu Abbildungsartefakten,
wodurch die maximale Messgeschwindigkeit und Bildqualitaš t eingeschraš nkt wird. In diesem Artikel werden moderne Ansaš tze diskutiert,
welche zu einer signifikanten Steigerung der Messgeschwindigkeiten fuš hren.
Keywords:
SPM; AFM; scanning probe; control; nanotechnology; nanometrology
"Official" electronic version of the publication (accessed through its Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1007/s00502-012-0070-8
Created from the Publication Database of the Vienna University of Technology.