Zeitschriftenartikel:
L. Filipovic, S. Selberherr:
"A Method for Simulating Atomic Force Microscope Nanolithography in the Level Set Framework";
Microelectronic Engineering,
107
(2013),
S. 23
- 32.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2013.02.083
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2012/JB2013_Filipovic_1.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.