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Zeitschriftenartikel:

L. Filipovic, S. Selberherr, G. Mutinati, E. Brunet, S. Seinhauer, A. Köck, J. Teva, J. Kraft, J. Siegert, F. Schrank:
"Methods of Simulating Thin Film Deposition Using Spray Pyrolysis Techniques";
Microelectronic Engineering, 117 (2014), S. 57 - 66.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2013.12.025

Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2013/JB2014_Filipovic_1.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universitšt Wien.