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Zeitschriftenartikel:

M. Thier, R. Saathof, E. Csencsics, R. Hainisch, A. Sinn, G. Schitter:
"Entwurf und Regelung eines Positioniersystems für robotergestützte Nanomesstechnik";
at - Automatisierungstechnik, 63 (2015), S. 727 - 738.



Kurzfassung deutsch:
In einer Produktionsumgebung beeinflussen
mechanische Vibrationen den Relativabstand
zwischen Inspektionsgerät und Werkstück, was für Messungen
im Nanometerbereich hinderlich ist. Dieser Beitrag
stellt eine Metrologieplattform zur Montage eines Inspektionsgerätes
vor, diemittels eines H∞-Reglers den Relativabstand
zum Werkstück konstant hält. Ein Laboraufbau
mit einem Freiheitsgrad zeigt, dass in der Produktionsumgebung
vorkommende Vibrationen um eine Größenordnung
reduziert werden können, was eine Oberflächencharakterisierung
im Nanometerbereich direkt in der
Produktion ermöglicht.

Schlagworte:
In-Prozess-Messtechnik, Präzisionspositionierung, Präzisionsmesstechnik, Instrumentierung.


Elektronische Version der Publikation:
https://publik.tuwien.ac.at/files/publik_242211.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universitšt Wien.