Patente:
J.L. Sànchez-Rojas, N. Dörr, M. Kucera, A. Bittner, U. Schmid:
"MEMS-Sensor zur Detektion von Umgebungsparametern";
Patent: Österreich,
Nr. AT 513634 81 2015-02-15;
eingereicht: 05.12.2012,
erteilt: 15.02.2015.
Kurzfassung deutsch:
Die Erfindung betrifft ein mikrotechnisch aus einem Wafer (1) hergestelltes Bauelement (2) zur Detektion von Umgebungsparametern mit einem in einer Plattenebene (9) schwingend aufgehängten
Plattenelement (6), wobei das Plattenelement (6) mit seiner Plattenebene (9) im Wesentlichen senkrecht zur Waferoberfläche (3) des Wafers (1) angeordnet ist.
Kurzfassung englisch:
Die Erfindung betrifft ein mikrotechnisch aus einem Wafer (1) hergestelltes Bauelement (2) zur Detektion von Umgebungsparametern mit einem in einer Plattenebene (9) schwingend aufgehängten
Plattenelement (6), wobei das Plattenelement (6) mit seiner Plattenebene (9) im Wesentlichen senkrecht zur Waferoberfläche (3) des Wafers (1) angeordnet ist.
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.