Patents:
J.L. Sànchez-Rojas, N. Dörr, M. Kucera, A. Bittner, U. Schmid:
"MEMS-Sensor zur Detektion von Umgebungsparametern";
Patent: Österreich,
No. AT 513634 81 2015-02-15;
submitted: 12-05-2012,
granted: 02-15-2015.
English abstract:
Die Erfindung betrifft ein mikrotechnisch aus einem Wafer (1) hergestelltes Bauelement (2) zur Detektion von Umgebungsparametern mit einem in einer Plattenebene (9) schwingend aufgehängten
Plattenelement (6), wobei das Plattenelement (6) mit seiner Plattenebene (9) im Wesentlichen senkrecht zur Waferoberfläche (3) des Wafers (1) angeordnet ist.
German abstract:
Die Erfindung betrifft ein mikrotechnisch aus einem Wafer (1) hergestelltes Bauelement (2) zur Detektion von Umgebungsparametern mit einem in einer Plattenebene (9) schwingend aufgehängten
Plattenelement (6), wobei das Plattenelement (6) mit seiner Plattenebene (9) im Wesentlichen senkrecht zur Waferoberfläche (3) des Wafers (1) angeordnet ist.
Created from the Publication Database of the Vienna University of Technology.