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Buchbeiträge:

V. Simonka, G. Nawratil, A. Hössinger, J. Weinbub, S. Selberherr:
"Direction Dependent Three-Dimensional Silicon Carbide Oxidation Growth Rate Calculations";
in: "Proceedings of the 2016 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EUROSOI-ULIS)", V. Sverdlov, S. Selberherr (Hrg.); IEEE, 2016, ISBN: 978-1-4673-8608-1, S. 226 - 229.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/ULIS.2016.7440094

Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2015/CP2016_Simonka_2.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.