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A. Friedberger, T. Löwer, S. Fricke, U. Schmid:
"Method And Device For Machining Workpieces";
Patent: DE, No. Wo 2008/003374 A1; submitted: 05-30-2007, granted: 01-10-2008.

X-rays (8) are generated in a workpiece (3)
by means of an electron beam ( 4), said x-rays ernerging on the
rear side (3b) of the workpiece in sufficiently thin areas of the
workpiece (3) and being detected by means of an x-ray radiation
sensor (5). The surface structure on both sides and the
local material thickness can be determined by means of the
x-ray intensity and the momentaneaus irradiation of the electron
beam (4). On the basis of such values, workpieces and/or
workpiece machining devices can be adjusted, and the vertical
material removal controlled in a material-removing workpiece-
machining device.

Mittels eines Elektronenstrahls (4)
~ wird in einem Werkstück (3) Röntgenstrahlung (8) erzeugt,
QO die an ausreichend dünnen Stellen des Werkstücks (3) auf der g Werkstückrückseite (3b) austritt und mittels eines Röntgenstrahlungsdetektors (5) detektiert wird. Anhand der RöntgenstrahlungsM
intensitätund der momentanen Einstrahlposition des Elektronenstrahls (4) lässt sich sowohl die beidseitige Oberflächenstruktur als
auch die lokale Materialdicke ermitteln. Auf Basis solcher Werte können Werkstücke und/oder Werkstückbearbeitungsvorrichtun- 0 genjustiert sowie der vertikale Materialabtrag in einer materialabtragenden Werkstückbearbeitungsvorrichtung kontrolliert werden.