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J.L. Sànchez-Rojas, N. Dörr, M. Kucera, A. Bittner, U. Schmid:
"Mems Sensor For Detecting Environmental Parameters";
Patent: AT, No. Wo 2014/086884 A1; submitted: 12-04-2013, granted: 06-12-2014.

The invention relates to a component (2) produced microtechnically from a wafer (I) for detecting environmental
parameters, with a plate element (6) attached in an oscillating manner in a plane of the plate (9), wherein the plate element (6) is
arranged suchthat the plane ofthe plate (9) is substantially perpendicular to the wafer surface (3) ofthe wafer (I).

Die Erfindung betrifft ein mikrotechnisch aus einem Wafer (I) hergestelltes Bauelement (2) zur Detektion
von Umgebungsparametern mit einem in einer Plattenebene (9) schwingend aufgehängten Plattenelement (6), wobei das
Plattenelement (6) mit seiner Plattenebene (9) im Wesentlichen senkrecht zur Waferoberfläche (3) des Wafers (I) angeordnet ist.