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D. Kröger, P Schmid, U. Schmid, A. Schricker, C Zarfl:
"SENSORELEMENT";
Patent: AT, No. At 515945 B1; submitted: 09-05-2014, granted: 01-15-2016.

Die Erfindung betrifft ein Sensorelement (1) mit einem
Substrat (2) das ein bevorzugt mittels
Dünnschichttechnik aufgetragenes,
dehnungssensitives Element (3) aufweist, welches zur
Messung der Verformung des Substrats (2) bei
Druckbeaufschlagung oder Krafteinleitung dient.
Erfindungsgemäß besteht das dehnungssensitive
Element aus XAIOyN 1.y, wobei X ein Metall mit einer
hohen Schmelztemperatur im Bereich größer 1400°C
ist und 0 < y < 0,4 gilt. Auf das dehnungssensitive
Element (3) kann eine Passivierungsschicht (5)
aufgetragen sein.