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A. Dabsch, F. Keplinger, C. Rosenberg:
"Force Sensor";
Patent: Austria, Nr. WO2018/176069A1; eingereicht: 31.03.2017, erteilt: 04.10.2018.

Kraftsensor (1) umfassend einen Rahmen (2) sowie eine Schwingstruktur (4), die mehrere Arme (3a-d) aufweist und im Rahmen (2) frei schwingen kann, wobei die Arme (3a-d) an Aufhängungsbereichen (6a-d) des Rahmens (2) fixiert sind und zumindest abschnittsweise quer zueinander verlaufen, wobei mindestens ein Leitmittel (5a-d) vorgesehen ist, das sich entlang von zumindest zwei Armen (3a-b; 3b-c; 3c-d; 3d-a) erstreckt, wobei das mindestens eine Leitmittel (5a-d) mit einer Wechselspannung beaufschlagbar ist, um unter Ausnutzung der Lorentz-Kraft (FL) mindestens eine Schwingungsmode der Schwingstruktur (4) mit einer Resonanzfrequenz anzuregen, wobei der Kraftsensor (1) so ausgelegt ist, dass sich die Aufhängungsbereiche (6a-d) zumindest teilweise räumlich relativ zueinander verschieben, wenn der Rahmen (2) mit einer Kraft (7) beaufschlagt wird, dass die Größe der räumlichen Verschiebung (8) der Aufhängungsbereiche (6a-d) von der Größe der Kraft (7) abhängt, dass die räumliche Verschiebung (8) der Aufhängungsbereiche (6a-d) eine Verstimmung der Resonanzfrequenz bewirkt, deren Größe von der Größe der räumlichen Verschiebung (8) abhängt.

Force sensor (1) comprising a frame (2) and also an oscillation structure (4) which has a plurality of arms (3a-d) and can oscillate freely in the frame (2), wherein the arms (3a-d) are fixed to suspension regions (6a-d) of the frame (2) and run transverse to one another at least in sections, wherein at least one guiding means (5a-d) is provided, which guiding means extends along at least two arms (3a-b; 3b-c; 3c-d; 3d-a), wherein an AC voltage can be applied to the at least one guiding means (5a-d) in order to excite at least one oscillation mode of the oscillation structure (4) with a resonant frequency using Lorentz force (FL), wherein the force sensor (1) is designed such that the suspension regions (6a-d) are at least partially spatially displaced relative to one another when a force (7) is applied to the frame (2), that the magnitude of the spatial displacement (8) of the suspension regions (6a-d) depends on the magnitude of the force (7), that the spatial displacement (8) of the suspension regions (6a-d) causes detuning of the resonant frequency, the magnitude of which depends on the magnitude of the spatial displacement (8).