Zeitschriftenartikel:
X. Klemenschits, S. Selberherr, L. Filipovic:
"Modeling of Gate Stack Patterning for Advanced Technology Nodes: A Review";
Micromachines (eingeladen),
9
(2018),
12;
S. 631-1
- 631-31.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.3390/mi9120631
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2018/JB2018_Klemenschits-3.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.